国家/地区 韩国(6)
IPC部 C(4) H(3) G(2)
IPC大类 C01(4) H01(3) G01(2)
IPC小类 C01B(4) G01N(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(2)
发明人 FEI L(3) SEO T S(3)
公开年 2010(3) 2011(2)
申请年 2009(6)
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(6)

LEE S, KIM K, LIM S H, PARK M, KIM J K, KIM H, LEE H, KIM G, IM S, KIM J, KIM K H, KIM H S, YI S S, I H J, SU LEE S, SUK KIM H, JEONG LEE H, GYEONG KIM J, HO IM S, LEE S S